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1200℃單工位大口徑快速退火爐 RTP-1200C-200-SL
單工位大口徑快速退火爐是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成，內控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉動(dòng)速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調節爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過(guò)連接手動(dòng)擋板閥、波紋管用于對石英艙體內的真空獲取，進(jìn)氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。
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加熱系統 |
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額定功率 |
10KW |
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額定電壓 |
AC 220V 50/60Hz |
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石英管尺寸 |
Φ210*370mm（爐管直徑可根據實(shí)際需要定制） |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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控溫精度 |
±5℃ |
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熱電偶類(lèi)型 |
K型熱電偶（內插） |
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控制方式 |
該系統人機界面+PLC控制，10寸液晶屏顯，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉速度等信息 |
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氣路系統 |
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標準量程（N2） |
1000sccm（可根據用戶(hù)要求定制） |
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準確度 |
±1.5% |
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線(xiàn)性 |
±0.5~1.5% |
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重復精度 |
±0.2% |
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響應時(shí)間 |
氣特性 1～4 Sec，電特性 10 Sec |
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工作壓差范圍 |
0.1~0.5MPa |
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最大壓力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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工作環(huán)境溫度 |
5~45高純氣體 |
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真空系統 |
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機械泵 |
抽氣速率 |
4L/s |
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容油量 |
1.1L |
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電機功率 |
400W~ |
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極限壓強 |
6x10-2Pa |
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分子泵 |
抽氣速率 |
100L/s |
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極限壓強 |
1x10-4Pa |
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啟動(dòng)時(shí)間 |
＜2min |
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額定轉速 |
4300轉/分鐘 |
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冷卻方式 |
環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷 5-40℃時(shí)，水冷 |
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分子泵控制器 |
電壓 |
220V±22V |
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啟動(dòng)電流 |
≤7A |
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輸入頻率 |
47Hz-63Hz |
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最大輸出功率 |
≤150W |
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最大加速電壓 |
≤40V |
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加速時(shí)間 |
≤3min |
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頻率（雙速） |
高速705Hz±10Hz 低速430Hz±5Hz |
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復合真空計
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測量路數 |
2路（電阻規、電離規各1路） |
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工作模式 |
手動(dòng)/自動(dòng) |
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電阻單元參數 |
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規管型號 |
ZJ-52T電阻規 |
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測量范圍 |
1.0x105Pa~1.0x10-1Pa |
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有效范圍 |
2.5x103Pa~5.0x10-1Pa |
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控制范圍 |
2.5x103Pa~5.0x10-1Pa |
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電離單元參數 |
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規管型號 |
ZJ-27電離規 |
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可測范圍 |
5.0Pa~1.0x10-5Pa |
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有效范圍 |
1.0Pa~5.0x10-5Pa |
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控制范圍 |
1.0Pa~5.0x10-5Pa |
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規管除氣方式 |
焦耳去氣 |
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其他參數 |
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控制路數 |
4路 |
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控制方式 |
點(diǎn)動(dòng)或區域控制/帶掉電記憶 |
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控制精度 |
±1% |
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采樣時(shí)間 |
1s |
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電源 |
220V±10% 50Hz |
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功耗 |
50W |
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使用環(huán)境溫度 |
0~45℃ |
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濕度 |
≤85% |
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連接管路 |
采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s |
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